60 https://www.uni-bremen.de/imsas/forschung/ausstattung IMSAS, sensor university, University of Bremen, Universität Bremen, Mikrosystemtechnik, MEMS, MST, Mikrotechnologie, Mikromechanik, Mikrosensoren, Walter Lang, Auftragsforschung, Microtechnologies, Micromachining, Microsensors, Si-Technologies, Drucksensoren, Beschleunigungssensoren, Pressure, sensors, Vellekoop, Gassensoren, gas sensors, Flowsensors, Strömungssensoren, biomedical, telemetry, Telemetrie, oberflächenmikromechanik, surface micromachining, wafer bonding, deep trench etching, silicon microprocessing, interdigital sensors, humidity sensors, sensor network, Sensornetzwerke, intelligent sensor systems, Mikrogalvanik, galvanoforming, electroplating, microcoil, Mikrospulen, Dünnfilmtechnik, thin-film-technology, planar technology, Planartechnik, microfluidic systems, microchannels, Mikrofluidic, lab-on-chip, micropump, Mikropumpe, Forschung und Entwicklung, Research and Develeopment, R&D, F&E, Benecke, Automotive, Signalverarbeitung, Signal processing, Modellierung, Modelling, Microcoil, Simulation, Auswerteschaltungen, Schaltungstechnik, Modellbildung, Thermal, Thermisch Flow, Zentrum für Mikrosystemtechnik, Microsystems Center Bremen, Silicon, Silizium, Wafer, Technologie, Technology, SI, Bonding Reinraum, Cleanroom, Clean room, Packaging, AVT, Aufbau- und Verbindungstechnik, Mounting, microsystems, Mikrosysteme, Sensoren, micro systems, Sensor Technologie, sensors, sensor technology, Sensortechnologie, Mikrofluidik, microfluidics, lab chip, intelligent container, logistic, ethylene sensor, micro gas chormatography, preconcentrator, sinsitive gasket, dielectric sensors, fungtkon scale integration,sensors in materials, thermal flow sensor, pellistor, atalytic gas ensor, fiber compound materials, CFRP, carbon fiber reinforced ploymer, brain machine interface, neural implant, ECoG, electrocorticography, parylene, polymer MEMS, Nanoscribe, 2D laser lithography, thermoelectric sensor, SHM, structural health monitoring, fruit quality, sensor integration de Universität Bremen Fri, 11 Sep 2026 16:33:29 +0200 Fri, 11 Sep 2026 16:33:29 +0200 Universität Bremen content-221391 Wed, 04 Mar 2026 22:36:40 +0100 https://www.uni-bremen.de/imsas/forschung/ausstattung#c221391 <p><abbr title="Institut für Mikrosensoren, -aktoren und -systeme">IMSAS</abbr> nutzt eine Vielfalt von Einrichtungen für Forschung, Entwicklung und Produktion modernster Mikrosysteme. Verfügbar sind zwei große Klasse ISO 6 Reinräume mit einer Gesamtfläche von 900 m² für Vor- und Nachbearbeitung von 100 mm und 150 mm Wafern. Diese bieten eine komplette Auswahl von Standard MEMS Prozessen: </p> Content