Allgemeine Informationen

• Untersuchungsgebiete

  Other
• Techniken

  Nanopatterning and Lithography
  
• Hersteller

  Raith
• Herstellungsjahr

  2014
• Hauptanwendung

  FIB-SEM nanolithography and nanopatterning, SEM lithography, (3D) rapid nano prototyping

Spezifikationen des Geräts

Kontaktperson

• Anwendungswissenschaftler

  Reiner Klattenhoff
  , BIAS
  FZB HB 1080
  Telefonnummer +49-421-218-58073
  klattenhoffprotect me ?!biasprotect me ?!.de
• Führender Anwendungswissenschaftler

  Bergmann, Ralf
  

Gerätestandort

• Institut (Außeruniversitär)

  BIAS