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Ausstattung

Reinräume

IMSAS nutzt eine Vielfalt von Einrichtungen für Forschung, Entwicklung und Produktion modernster Mikrosysteme, die alle nach DIN EN  ISO 9001:2008 Bedingungen betrieben werden. Verfügbar sind zwei große Klasse 6 (nach DIN EN  ISO 14644-1) Reinräume mit einer Gesamtfläche von 900 m² für Vor- und Nachbearbeitung von 100 mm und 150 mm Wafern. Diese bieten eine komplette Auswahl von Standard MEMS Prozessen: 

Photolithographie

  • Kontaktlithografie 
  • Laserlithografie 
  • 3D-Lithografie

 

Thermische Prozessierung

  • Oxidation 
  • Diffusion 
  • Tempern

 

 Abscheidungsprozesse

  • Chemischer Niederdruck
  • Gasphasenabscheidung (LPCVD
  • Plasma-verbesserte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD
  • Sputtern 
  • Verdampfung
  • Parylenbeschichtung

 

 Ätzen 

  • Nassätzen 
  • Reaktives Ionenätzen (RIE)
  • Tiefes reaktives Ionenätzen (DRIE)/Advanced Silicon Etching (ASE
  • Ion Milling Etching
  • Plasmaätzen (PE)

 

Galvanik

 

Waferbonden 

  • Silizium-Direkt-Bonden (SDB
  • Anodisches Bonden 
  • Eutektisches Bonden 
  • Lötmittel Bonden 
  • Glas-Frit Bonden

Chemisch-Mechanisches Polieren (CMP)

 

Aufbau- und Verbindungstechnik

IMSAS verfügt über eine Vielfalt spezieller Anlagen, welche die Aufbau- und Verbindungsprozesse am Ende der MEMS Herstellung ermöglicht:

  • Wafersägen
  • Chipbonden
  • Drahtbonden
  • Dickschichttechnologie
  • Leiterplattenfräsen (PCB)

 

Test und Charakterisierung

Um die DIN  EN  ISO 9001:2008 Bedingungen während der Herstellung wie auch beim anschließenden Testen und Charakterisieren der MEMS Geräte zu gewährleisten, besitzt IMSAS eine Vielzahl von Messinstrumenten und Stationen:

  • Schichtdickenmessgeräte
  • Stufenhöhenmessgerät
  • Oberflächen-Profiler
  • 3D-Messsystem
  • Messgerät für Schichtspannungen
  • 4-Punkt Widerstandmessgerät
  • Rasterelektronenmikroskop (SEM)
  • Röntgenfluoreszenz Spektrometer
  • Druckmessstation
  • Strömungsmessstation
  • Gasmessstation
  • Klimaschrank
  • Impedanzspektroskopie

 

Design und Simulation

Zahlreiche Design- und Simulationswerkzeuge ermöglichen IMSAS ebenfalls MEMS-Designs hausintern herzustellen und zu optimieren:

  • CoventorWare®
  • LabVIEW®
  • MATLAB®
  • COMSOL Multiphysics®

 

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Aktualisiert von: L.Reichel