Heiße Forschung zu Elektronen-induzierter Chemie
auf chemische Prozesse in molekularen Eisschichten zurück, die sich auf Staubkörnern in kalten interstellaren Wolken bilden. Die Reaktionen sollen durch Einwirken kosmischer Strahlung ausgelöst werden. [...] Strahlung verwendet, um Strukturen auf einen Wafer zu übertragen, wobei der Resist an den bestrahlten Stellen drastisch seine Löslichkeit verändern muss. Auch unter diesen Bedingungen werden langsame Elektronen [...] oxocluster photoresist for extreme ultraviolet lithography M. Rohdenburg, N. Thakur, R. Cartaya, S. Castellanos, P. Swiderek, Phys. Chem. Chem. Phys. 23 , 16646-16657 (2021). https://doi.org/10.1039/D1CP02334A